中科院光电所最新光刻机研究:高精度微纳加工技术突破
关于澳门6合开彩开奖网站 / 2024-10-17
中科院光电所最新光刻机研究成果 背景介绍 中科院光电所是中国科学院下属的研究机构之一,致力于光电技术的研究和应用。其中,光刻技术是光电技术中的重要分支之一。光刻机是一种用于制造微电子芯片的设备,其制造精度越高,芯片性能就越好。光刻机的研究一直是中科院光电所的重要研究方向之一。最近,中科院光电所研究团队取得了一项重要成果,成功研制出一种新型光刻机,本文将对这一研究成果进行详细介绍。 研究背景 传统的光刻机采用的是紫外线光源进行曝光,但是紫外线光源对环境和人体健康有一定的危害。研究人员一直在寻找一